3D形貌仪利用白光干涉扫描技术为基础研制而成，它可以达到纳米级的检测精度，并可快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，其主要用途是用于成品的质量管理，确保良品合格率。可广泛用于各类精密工件表面质量要求高的如：半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量，除了3D形貌仪，没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。

　　成像散光问题一直影响3D形貌仪测量准确度的因素之一，这种现象如何进行处理呢？

　　实际操作中启动开关电源后，如果大屏幕上没有聚焦，分辨率较低，我们称之为“散光问题”。此时，无论如何更新物镜，或者改变测量角度，大屏幕上的画面还是一样的。一开始这种情况，很多人都不明白，以为镜头上有污垢造成的。

　　对于以上问题先确认一下是否是形貌仪的散光问题导致的。如果确定是散光故障则很有可能是LED不聚光方式引起的，更换LED后重启工作电源可以查看相关问题还是否存在，一般情况都差不多是这个原因。

　　其次拆开镜框，看看玻璃镜面是否平整。如果是均匀的，不会造成散光，但是不均匀会导致散光。

　　通过上述两种方法，一般可解决好仪器的散光问题。