形貌仪3D系统由台架、控制系统、探头、针尖组成。系统控制单元控制探头沿样品表面移动，以测量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根据需要设定参数，如探头移动的步长，选择、制定自己的测试模式，以使测量长度、速度、路径、分辨率达到*化。测试系统的数据处理能力非常强，可得到多种参数，包括形貌、粗糙度、坐标尺寸等。同时有自动控制能力，可以和超精密微加工、微组装系统组合，如为微加工系统提供在线检测，以随时控制加工质量。

　　3D形貌仪的启动四步骤说明：

　　步骤1

　　先启动计算机，然后开启仪器。使用原厂默认密码登录系统。

　　步骤2

　　约30s后，双击桌面上的3D图标，打开测试软件。

　　步骤3

　　使用用户名、密码登录测试软件。出厂时的默认用户名和密码参考说明书，参照说明书获取用户设置的更多信息。

　　步骤4

　　点击OK，初始化Z轴。接着点击OK，初始化XY载台。

　　注意：Z轴和XY载台即将移动，请确认没有任何物体阻碍它们的运动路径。请勿用手触碰移动部件。